国产电子束光刻机重大突破，相关产业链迎发展新机遇

我国自主研发的首台国产商业电子束光刻机“羲之”完成研发并进入测试，精度达0.6nm线宽8nm，专攻量子芯片和半导体研发。同时，喷墨步进式纳米压印设备交付客户，技术超越国际巨头，第三代半导体在氮化镓/碳化硅集成领域取得突破。这些进展将推动光刻胶、半导体设备、特种气体等产业链发展，相关上市公司包括华特气体、中船特气、芯碁微装等。