台积电拒绝High NA光刻机！ASML未来订单或受冲击

台积电宣布其A14和A16制程将不采用ASML的High NA EUV光刻机，继续使用标准型EUV设备。台积电认为当前设备可支持生产至2026年后，且通过技术优化在性能、功耗和晶体管密度上仍能实现显著提升，无需High NA设备带来的高成本投入。此举可能影响High NA光刻机市场需求预期，ASML等供应商短期订单或受冲击。