英国部署电子束光刻机被误读为突破ASML垄断？真相来了！

英国南安普敦大学部署全球第二台200kV电子束光刻设备，主要用于学术研究和半导体技能培训。该设备由日本JEOL生产，分辨率达5纳米以下但无法用于芯片量产环节，与ASML的EUV技术存在本质区别。部分媒体过度炒作其突破ASML垄断的假象，实际该设备与产业界主流光刻机在应用场景、生产效率和市场规模上存在代际差距。