英国部署电子束光刻机被误读为突破ASML垄断?真相来了!
2025-05-27
英国南安普敦大学部署全球第二台200kV电子束光刻设备,主要用于学术研究和半导体技能培训。该设备由日本JEOL生产,分辨率达5纳米以下但无法用于芯片量产环节,与ASML的EUV技术存在本质区别。部分媒体过度炒作其突破ASML垄断的假象,实际该设备与产业界主流光刻机在应用场景、生产效率和市场规模上存在代际差距。


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