光刻机产业迎黄金加速期，国产替代进程加速

国金证券发布研报指出，国内光刻机产业在政策支持和技术攻坚下迎来发展加速期。上海微电子等企业在低端光刻机已实现0到1突破，高端光刻机如KrF/ArF型号被列入工信部首台（套）目录，标志国产DUV光刻机取得进展。尽管光学系统等核心部件与国际仍有差距，但供应链企业持续攻关，叠加中国作为全球最大光刻机需求市场，国产替代进程有望提速。报告建议关注相关产业链投资机会，但也提示技术进展不及预期等风险。