杭州翰亚高端光刻胶项目验收成功，KrF/ArF量产再添新军

杭州翰亚微电子科技有限公司高档光刻胶新材料项目（一期）完成验收，投资1.015亿元，年产3吨KrF/ArF光刻胶（实际验收2.62吨）。公司2023年成立，已完成A轮融资，目标成为国内首个具备高端光刻胶核心树脂材料量产能力的企业。目前KrF/ArF光刻胶国内已有南大光电等企业量产，但市场份额低，EUV光刻胶仍依赖进口。